• 日本yamato大和等离子清洗机PDC200/PDC210

    详细信息

    日本yamato大和等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510

    研究开发用*适合等离子清洗机

    主要特点：
    RIE模式标配（DP切换为选购）
    等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

    用途：

    CSB/BGA/COB基板的等离子处理
    有机膜和金属氧化膜的除去
    印刷电路基板的干洗
    界面活性处理
     

    技术参数：
    型号
    PDC200
    PDC210
    PDC510
    模式
    RIE模式（DP选配）
    DP模式
    DP/RIE切换方式
    电极构造
    平行平板电极（固定）
    高频输出功率
    MAX300W
                       Max 500W
    频率
    13.56MHz
    控制方式
    自动联动，液晶触摸屏控制
    反应室尺寸
    400×250×150mm
    500×300×200
    电极尺寸
    250×170mm
    400×200mm
    反应室材质
                                            一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4）
    反应气体
    2系统（Ar/O2）
    填充气体
    N2/洁净干燥空气
    反应气体流量控制
    流量计
    聚合控制器
    真空泵
    另行选配
    油回旋真空泵（排气量345L/min）
    油回旋真空泵（排气量500L/min）
    气体导入口
    反应气体2套，填充气体1套
    外型尺寸
    540×600×600mm
    540×600×600mm
    700×700×700mm
    电源
    单相AC100V 15A 50/60Hz
                                             三相AC100V 15A 50/60Hz

     


    日本yamato大和等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510

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